……
三分钟后，电动观光车抵达光学实验室门口，早已收到消息的林本坚和赵凯东二人已经等候多时。
“林博士，赵叔。”苏远山跳下车便朝着两人快步走去，同时与二人紧紧握手。
“辛苦你们了。”
“不辛苦。”林本坚呵呵地看着苏远山，依旧一副淡定的模样，倒是赵凯东，目光里多了太多的数不清的感情和激动。
——他和林本坚不同，林本坚此前一直服务于ib，是“见”过“大场面”，也是领导过世界一流科研单位的。但他……虽然在国内堪称翘楚，但真正搞技术，搞科研的人，哪怕在外面“装”得再好，内心深处，对自己到底是什么地位，有“几斤几两”，那是再清楚不过了。
如果不清楚，那可以毫不客气地说，这人就是个混子。
赵凯东是从被全面封锁时代走出来的工程师，他清楚地知道，国内在这种民用的光刻机光源领域差距国外有多远——在十年前，别说超越，就连追赶，那都是一件不敢去想的事儿。
但这才十年啊……国内在arf光源领域便实现了突破和追赶。
——是，他承认，全面追赶还差一点，比不上国外同行深根多年的底蕴。以至于宏芯那边的主要采购方向还是国外企业。
但随着浸润式光刻技术的突破，这却是在光刻机这一大的领域上，国内第一次全面超越了西方！
而这一切……都来自眼前这个年轻人毫无保留的支持。
赵凯东想起，当年自己见到他的时候，怕是他还没满二十吧？
就在赵凯东一晃神的功夫，苏远山便已经和其他人握完手，打完招呼，急冲冲地在往里面走了。
“走走，大家别在门口站着了，带我看看原型机。”
“嗯，好，右边的无层室。”
赵凯东见苏远山行走如风，和林本坚，梁孟松两人对视一笑，迅速大步跟了上去。
第855章 锦衣夜行
换上全套防尘装备，穿过风淋室，一群全身上下裹得严严实实的工程师早已站成两排等在面前。
苏远山看着胸卡，认出了戴着口罩的庞克明——他在成光所时代便是郑振川的“徒弟”，如今郑振川虽然还活跃在技术一线，但毕竟是当老总的人，精力难以为继。所以便把攻克难关的任务交给了庞克明。
而且按照宏芯的计划，在完成浸润式光刻的攻克后，庞克明将就地在沪市建立分厂。
毕竟，作为工业和出口重镇，沪市比起省城的优势确实大不少，更重要的是，沪市这边有德远总部。今后如果不出意外，省城这边的总部将更多会保留科研单位，进行技术攻关，而装配工作会逐渐转移到沪市这边。
“庞工。”
“山总，我懒得再防尘服，就没出来，你没见怪吧？”
“呵呵，没有没有，大家辛苦了。”苏远山一边和众人打着招呼，一边望向前方不远处的“大机柜”。
很好，看来确实是万事俱备，只欠自己这场东风了。
“在诸位领导的……”庞克明带着苏远山走向光刻机，他看了眼跟在苏远山身后的几位大佬，笑着替苏远山介绍道。
“庞工，捡重点说。”苏远山目不转睛地盯着光刻机，听到庞克明要搞这种形式主义，马上摆手：“多久能进厂？”
庞克明便看到，一干人的脸上都露出了笑意，他也轻轻咳了一声，笃定地道：“现在就可以进厂。”
“哦？意思是，现在就能量产了？”苏远山转身看着庞克明，很有几分迟疑——他一直关注着这边团队的进度，是以对光刻机参数了如指掌，压根不需要庞克明介绍。
他最看重的，还是何时能够量产。
原型机和量产机，那真的是有区别的。
“在设计之初，我们就考虑到了量产的问题。”庞克明笑着答道：“当然，现在就说能接订单量产那肯定有些吹牛皮，不过让这台原型机进厂跑起来，然后提供维护的方案，我们肯定是有的。”
苏远山又转头看着林本坚等人，只见这老几位虽然带着口罩，但也都眼角含笑，心中便知道庞克明所言非虚，当下便哈哈一笑，喜上眉梢。
“不错，不错！走，我看一眼测试。”
“好的，而且为了测试，我们还发明了一种专门用于光刻机测试的掩膜版和工序，它包括了套刻测试图形和参数计算公式。”
庞克明示意下属开始演示。
“山总，传统的测试分辨率和焦距的方法是制作光刻线宽测试版，即在光刻版的各个区域上都均匀放置一组线宽测试图形，在圆片上曝光后用扫描电镜测试该图形的线宽数据，然后再来评价光刻机镜头各区域的分辨率和最佳焦距。我们这个算是一步到位，简单方便，啪的一闪，就能直接得出光刻机的参数了。”
“嗯，不错！”苏远山再次点头。
……
……
两小时后，苏远山几乎是一路飘着走出了无尘室。
作为宏芯的代表，庞克明这次就不能再捡懒了，他也和林本坚，赵凯东，梁孟松等一起进入了会议室。
“客套话我就不说了，意义我也不重复了，论功行赏什么的……”苏远山见众人都笑了起来，他也呵呵一笑：“咱们要低调点，不能抢了上面的风头。”
“意思是，我们还要等上面验收？”庞克明看着苏远山，试探性地问道。
苏远山微微一笑，点了点头：“虽然咱们早就过了验收报喜的阶段，而且我们也没有拿国家的钱，不需要上头来检查什么的，更不需要对上面负责……但该给的面子还是要给嘛。”
在座几人纷纷点头。
纵然大家都是一心搞技术的工程师，但活了这么大岁数，这种又不违背原则，又能让国家开心的事，怎么都是支持的。
三分钟后，电动观光车抵达光学实验室门口，早已收到消息的林本坚和赵凯东二人已经等候多时。
“林博士，赵叔。”苏远山跳下车便朝着两人快步走去，同时与二人紧紧握手。
“辛苦你们了。”
“不辛苦。”林本坚呵呵地看着苏远山，依旧一副淡定的模样，倒是赵凯东，目光里多了太多的数不清的感情和激动。
——他和林本坚不同，林本坚此前一直服务于ib，是“见”过“大场面”，也是领导过世界一流科研单位的。但他……虽然在国内堪称翘楚，但真正搞技术，搞科研的人，哪怕在外面“装”得再好，内心深处，对自己到底是什么地位，有“几斤几两”，那是再清楚不过了。
如果不清楚，那可以毫不客气地说，这人就是个混子。
赵凯东是从被全面封锁时代走出来的工程师，他清楚地知道，国内在这种民用的光刻机光源领域差距国外有多远——在十年前，别说超越，就连追赶，那都是一件不敢去想的事儿。
但这才十年啊……国内在arf光源领域便实现了突破和追赶。
——是，他承认，全面追赶还差一点，比不上国外同行深根多年的底蕴。以至于宏芯那边的主要采购方向还是国外企业。
但随着浸润式光刻技术的突破，这却是在光刻机这一大的领域上，国内第一次全面超越了西方！
而这一切……都来自眼前这个年轻人毫无保留的支持。
赵凯东想起，当年自己见到他的时候，怕是他还没满二十吧？
就在赵凯东一晃神的功夫，苏远山便已经和其他人握完手，打完招呼，急冲冲地在往里面走了。
“走走，大家别在门口站着了，带我看看原型机。”
“嗯，好，右边的无层室。”
赵凯东见苏远山行走如风，和林本坚，梁孟松两人对视一笑，迅速大步跟了上去。
第855章 锦衣夜行
换上全套防尘装备，穿过风淋室，一群全身上下裹得严严实实的工程师早已站成两排等在面前。
苏远山看着胸卡，认出了戴着口罩的庞克明——他在成光所时代便是郑振川的“徒弟”，如今郑振川虽然还活跃在技术一线，但毕竟是当老总的人，精力难以为继。所以便把攻克难关的任务交给了庞克明。
而且按照宏芯的计划，在完成浸润式光刻的攻克后，庞克明将就地在沪市建立分厂。
毕竟，作为工业和出口重镇，沪市比起省城的优势确实大不少，更重要的是，沪市这边有德远总部。今后如果不出意外，省城这边的总部将更多会保留科研单位，进行技术攻关，而装配工作会逐渐转移到沪市这边。
“庞工。”
“山总，我懒得再防尘服，就没出来，你没见怪吧？”
“呵呵，没有没有，大家辛苦了。”苏远山一边和众人打着招呼，一边望向前方不远处的“大机柜”。
很好，看来确实是万事俱备，只欠自己这场东风了。
“在诸位领导的……”庞克明带着苏远山走向光刻机，他看了眼跟在苏远山身后的几位大佬，笑着替苏远山介绍道。
“庞工，捡重点说。”苏远山目不转睛地盯着光刻机，听到庞克明要搞这种形式主义，马上摆手：“多久能进厂？”
庞克明便看到，一干人的脸上都露出了笑意，他也轻轻咳了一声，笃定地道：“现在就可以进厂。”
“哦？意思是，现在就能量产了？”苏远山转身看着庞克明，很有几分迟疑——他一直关注着这边团队的进度，是以对光刻机参数了如指掌，压根不需要庞克明介绍。
他最看重的，还是何时能够量产。
原型机和量产机，那真的是有区别的。
“在设计之初，我们就考虑到了量产的问题。”庞克明笑着答道：“当然，现在就说能接订单量产那肯定有些吹牛皮，不过让这台原型机进厂跑起来，然后提供维护的方案，我们肯定是有的。”
苏远山又转头看着林本坚等人，只见这老几位虽然带着口罩，但也都眼角含笑，心中便知道庞克明所言非虚，当下便哈哈一笑，喜上眉梢。
“不错，不错！走，我看一眼测试。”
“好的，而且为了测试，我们还发明了一种专门用于光刻机测试的掩膜版和工序，它包括了套刻测试图形和参数计算公式。”
庞克明示意下属开始演示。
“山总，传统的测试分辨率和焦距的方法是制作光刻线宽测试版，即在光刻版的各个区域上都均匀放置一组线宽测试图形，在圆片上曝光后用扫描电镜测试该图形的线宽数据，然后再来评价光刻机镜头各区域的分辨率和最佳焦距。我们这个算是一步到位，简单方便，啪的一闪，就能直接得出光刻机的参数了。”
“嗯，不错！”苏远山再次点头。
……
……
两小时后，苏远山几乎是一路飘着走出了无尘室。
作为宏芯的代表，庞克明这次就不能再捡懒了，他也和林本坚，赵凯东，梁孟松等一起进入了会议室。
“客套话我就不说了，意义我也不重复了，论功行赏什么的……”苏远山见众人都笑了起来，他也呵呵一笑：“咱们要低调点，不能抢了上面的风头。”
“意思是，我们还要等上面验收？”庞克明看着苏远山，试探性地问道。
苏远山微微一笑，点了点头：“虽然咱们早就过了验收报喜的阶段，而且我们也没有拿国家的钱，不需要上头来检查什么的，更不需要对上面负责……但该给的面子还是要给嘛。”
在座几人纷纷点头。
纵然大家都是一心搞技术的工程师，但活了这么大岁数，这种又不违背原则，又能让国家开心的事，怎么都是支持的。